详细介绍

     <特征>

适合试作量产、高精度图像成形、提供高精度对位。

对应2、6、8inch或角基板。自动对位、平行度调整和Gap控制也是自动、只是Work的搬入、搬出是由人工手动来进行。

可对应单面或两面对位。
对位精度＝±1μｍ以下。

防振功能是标准规格；两面对位时可选择两侧光学系或IR光学系。
曝光方式是真空密着曝光、硬接触曝光、近接触式曝光。