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常温晶圆接合装置
详细介绍
装置规格BOND MEISTER MWB-04/06-R
1.是从研究用途到电子元器件试制,到中小批量生产的应用广泛的标准机型。
2.以1套(1键合)为单位进行处理。
3.可实现半自动的高产量生产。可适用于电子元器件的中批量生产。通过搬运系统、对位功能等的一体化支持,和简易的电脑使用的简单操作,使设备在投入的当天就能快速上手。
4.通过使用特殊夹具,也可使不同形状的晶圆或芯片键合。可用于各种材料或电子元器件的键合。