详细介绍

     

剥离成膜、厚膜成膜、低温成膜
多功能型 真空蒸镀设备     SEC-22C

凝聚了昭和真空之技术的最高端机型

概 要

1. 本机型的蒸发源系统采用了电子束式蒸发源。
   可以镀制高熔点金属膜或氧化物膜。
2. 蒸发速度以及膜厚都通过晶振式膜厚计进行。
3. 主泵使用冷凝泵。
4. 操作控制系统为全自动方式。

所需外部条件

所需电力

本体: Φ3 200V 約40kVA (115A)
蒸発源: Φ3 200V 約25kVA (73A)

所需水量

0.2MPa以上（差圧）
44 L/min、20～25°C
※冷却水入口的最大压力低于0.4MPa
※水质相当于城市用水

所需压缩空气

0.7MPa (設定圧: 0.5MPa)
连接口径: Rc1/2

气体压力

0.05MPa (設定圧: 0.02MPa)
连接口径: SWL 1/4