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首页 > 产品展厅 > 半导体设备类 > 半导体光学检测机

images1

半导体光学检测机

产品编号:

产品全称:半导体光学检测机

  • 产品描述
  • 产品特性
  • 产品规格
 


内部结构
















 
 

图像系统

相机

500万像素工业相机

镜头

远心镜头

光源

四通道可控多角度结构光

分辨率

1.47um、3.14um

硬件配置

操作系统

WINDOWS 7 64 bits

通讯方式

Gigabit Network,RS232,SMEMA

流向

左-右/右-左(出厂前设定)

固定轨

前轨

轨道数量

双轨

机架

大理石平台+直线电机+铸造横梁

运动系统

X/Y/轴;直线电机;Z轴;伺服电机

其他配置

电源

单相220V,50/60Hz,10A

气压

0.4 to 0.6Mpa

尺寸

L1865mm*D1240mm*H1895mm(含灯)

净重

700kg

测板尺寸

检查范围

50mm*50mm — 90mm*260mm

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