深圳市奇信达科技有限公司
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产品编号：
产品全称：等倍Projection曝光设备
适合试作量产、高精度图像成形、提供高精度对位。
对应2、6、8inch或角基板。自动对位、平行度调整和Gap控制也是自动、只是Work的搬入、搬出是由人工手动来进行。
可对应单面或两面对位。
对位精度＝±1μｍ以下。
防振功能是标准规格；两面对位时可选择两侧光学系或IR光学系。
曝光方式是真空密着曝光、硬接触曝光、近接触式曝光。
