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等倍Projection曝光设备

产品编号:

产品全称:等倍Projection曝光设备

  • 产品描述
  • 产品特性
  • 产品规格
 <特征>

适合试作量产、高精度图像成形、提供高精度对位。

对应2、6、8inch或角基板。自动对位、平行度调整和Gap控制也是自动、只是Work的搬入、搬出是由人工手动来进行。

可对应单面或两面对位。
对位精度=±1μm以下。

防振功能是标准规格;两面对位时可选择两侧光学系或IR光学系。
曝光方式是真空密着曝光、硬接触曝光、近接触式曝光。

 
 
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